​LNG/BOGから水素とヘリウムをの抽出するシステム

案1（2 N/5 Nヘリウムを抽出する）：

LNGパージガス（BOG）排出口において、液化されていないフラッシュ蒸気を本システムに導入し、プレ精製ユニットで処理した後、一次の精製ユニットに入り、設定された純度を検出した後、三級の精製ユニット（水素ヘリウム分）に入る。ヘリウムガスを検出して2 N（99%）の純度レベルに達した後、直接ヘリウム製品として、5 N級（99.999%）が不要な工業分野に適用できます。例えば、エアコン、冷凍、ハブ、光ファイバーフィラメント冷却、半導体ウェハ冷却などです。

同時に、BOG中のヘリウム濃度が低い場合、ヘリウムの収率を増加させるために、または5 N級ヘリウムを得る必要がある場合、二級の精製ユニット（PSA）を追加し、三級の精製ユニットに入る水素ヘリウム混合ガスを5 N級まで精製することができます。

このシステムは電子級H 2を生産できます。純度は6 Nに達することができます。本システムの回収効率は90%を下回らず、具体的なフローチャートは右の通りである。

案2（液体ヘリウムの調製）：

案1のプロセスのように、LNGパージガス（BOG）排出口では液化されていないフラッシュ蒸気を本精製と液化システムに導入し、プリ精製ユニットで処理した後、それぞれ一次、二級、三級システムを経て、ヘリウムを検出してシステムの純度（5 N級）を設定した後、加圧して膨張機に入り、5 N級のヘリウムガスは液化液体ヘリウムに液化される。

また、本システムは最終製品の種類を柔軟に選択できます。液体ヘリウムを適用する必要がない場合、5 N級ヘリウムを獲得した後、直接最終製品として販売できます。電子級H 2（6 N級）は副産物として販売できます。

本システムの回収効率は90%を下回らず、具体的なフローチャートは右の通りである。

漏れ検査業界——ヘリウム回収精製システム

He分子は非常に小さい（H 2に次ぐ）化学的不活性性（H 2より安全性が高い）ので、約6%のヘリウムガスは漏れ検査業界に応用されています。例えば、保圧ヘリウム検査、ヘリウム検査漏れなどです。

エアコン業界のヘリウムガス漏れを例にとって。エアコンの「2つの器」は蒸発器と凝縮器で、エアコンの2つの非常に重要なワークであり、ヘリウムの漏れ検査工程があります。漏れ検査の効率と品質のコントロールを保証するために、ヘリウムの濃度を80%以上維持する必要があります。しかし、漏れ検査の過程では、システムの密閉性不良、漏れ検査プロセスの固有欠陥及び人工操作の不適合などの要因により、多かれ少なかれ空気が混入し、ヘリウム濃度が低下した。一般的に、ヘリウム濃度が80%以下の場合は、部分的または全部的にヘリウムを放出し、同時に高い純ヘリウムを補充する。

本方案はBOGヘリウム抽出システムの一次精製部は、漏れ検査業界向けのヘリウム回収精製用のコンパクトなシステムに変換することができ、ヘリウム消費量を大幅に削減することができます。ヘリウムガスの全体的な節約40-50%を実現できる。

半導体産業用水素回収システム

LED MOCVDエピプロセスを例にとって。

MOCVD排ガスの排出口から排ガスを本循環精製システムに導入し、排ガスは初級処理を経て、一次精製ユニットに入り、精製後の混合ガスを検査してシステム設定の純度（99%）に達した後、二級精製ユニットに入り、二級の精製後のH 2を経て、原料H 2と同じ5 N（99.999%）の純度レベルに達した。6 N（99.9999%）純度になり、MOCVDシステム前のH 2精製器に直接アクセスし、その後MOCVDプロセスマシンに入る。

上記のように繰り返して、毎回の循環の回収効率は90%を下回らないで、フローチャートは右のようです。